
ژنراتور اکسیژن PSA برای نیمه هادی
شرح
پارامترهای فنی
چرا صنعت نیمه هادی به ژنراتورهای اکسیژن PSA احتیاج دارد؟
عرضه گاز با خلوص بالا:تولید نیمه هادی نیازهای دقیق در خلوص گاز دارد و اکسیژن با خلوص بالا برای لیتوگرافی ، تمیز کردن و سایر پیوندها ضروری است. با کمک فن آوری جذب فشار فشار ، ژنراتور اکسیژن PSA با خلوص 3 ± 95 ٪ اکسیژن تولید می کند ، که مطابق با نیازهای تشکیل لایه اکسید و تمیز کردن ویفر است و از خطر آلودگی ناخالصی عرضه اکسیژن سنتی سیلندر گاز جلوگیری می کند.
اطمینان از ثبات فرآیند:خطوط تولید نیمه هادی نیاز به تأمین گاز مداوم و پایدار دارند. ژنراتور اکسیژن PSA از برج های جذب مضاعف برای کار به طور متناوب استفاده می کند ، و از طریق کنترل هوشمند PLC ، می تواند {{0} ساعت تأمین اکسیژن بدون وقفه را بدست آورد ، از وقفه های تولید ناشی از جایگزینی بطری دستی خودداری کند و با فرآیندهای حساس به فشار هوا از قبیل ترکیب فیلم نازک و اچچر سازگار شود.
کاهش هزینه ها و بهینه سازی فضا:در مقایسه با مخازن ذخیره سازی اکسیژن مایع و سیلندرهای گاز با فشار بالا ، ژنراتورهای اکسیژن PSA در محل اکسیژن تولید می کنند و هزینه های حمل و نقل و ذخیره سازی را بسیار کاهش می دهد. این یک ردپای کوچک دارد و از گسترش ماژولار پشتیبانی می کند ، که نیازهای حداکثر استفاده از فضا را در کارگاه های تمیز کارخانه های نیمه هادی برآورده می کند. هزینه استفاده طولانی مدت حدود 20 ٪ پایین تر از روش سنتی است.
سازگار با فرآیندهای خاص:در فرآیندهای پیشرفته ، برخی از فرآیندهای ویژه نیاز به کنترل دقیق غلظت اکسیژن دارند. ژنراتور اکسیژن PSA می تواند با تنظیم فشار فشار و نسبت غربال مولکولی ، خلوص خروجی اکسیژن (95 {1 {1} 9 ٪) را تنظیم کند تا نیازهای فرآیند ویژه تولید حافظه فلش 3D را برآورده کند.
سازگار با محیط زیست و نگهداری آسان:فناوری PSA نیازی به معرفهای شیمیایی ندارد و فرآیند تولید اکسیژن مواد مضر را منتشر نمی کند ، که مطابق با استانداردهای حفاظت از محیط زیست صنعت نیمه هادی است. این تجهیزات از فولاد ضدزنگ مواد غذایی و غربال های مولکولی خود تمیز کننده استفاده می کند ، با چرخه نگهداری تا سال {2}} سال ، و برای محیط های تولید ویفر تمیز و تمیز مناسب است.

| دسته | جزئیات پارامتر |
| خلوص اکسیژن | 93 ٪ {1}}} 5 ٪ (سیستم تصفیه ULPA می تواند سفارشی شود ، محتوای ناخالصی کمتر از یا برابر با 1PPB) |
| فشار | 0. 5-1 5MPa (قابل تنظیم ، سازگار با استاندارد ورودی هوا از تجهیزات نیمه هادی) |
| دامنه جریان | 10-5000 nm³/h (از گسترش موازی واحد های مختلف پشتیبانی می کند) |
| نقطه شبنم | کمتر از یا مساوی با درجه {0}} (برای جلوگیری از آلودگی بخار آب در محیط فرآیند) |
| کارایی انرژی | کمتر از یا مساوی با 0. 38kWh/nm³ (درایو فرکانس متغیر با راندمان بالا ، صرفه جویی در مصرف انرژی بیش از 30 ٪) |
| سطح سر و صدا | کمتر از یا مساوی 65dB (ساختار لرزش کم + پوسته ضد صدا ، مطابق با استانداردهای کلاس 1000 اتاق تمیز) |
مزایای اصلی ژنراتور اکسیژن PSA

ضمانت خلوص فوق العاده بلند
از بستر غربال مولکولی دو لایه و واحد اکسیداسیون کاتالیزوری برای از بین بردن عمیق ناخالصی هایی مانند هیدروکربن ها و Co₂ استفاده می شود و خلوص اکسیژن به بیش از 99.5 ٪ می رسد و استاندارد نیمه F20 را برآورده می کند. آنالایزر آنلاین در زمان واقعی ، هماهنگ سازی داده ها به سیستم کارخانه SCADA برای اطمینان از ثبات فرآیند.
کنترل هوشمند و طراحی اضافی
سیستم کنترل یکپارچه PLC+HMI ، از نظارت از راه دور ، خود تشخیص گسل و سوئیچینگ اضطراری (جذب اضافی دو برج) پشتیبانی می کند. فناوری جبران فشار خودکار برای مقابله با تقاضای زیاد جریان فوری تجهیزات نیمه هادی.
راه حل صرفه جویی در مصرف انرژی کم کربن
VPSA (جذب نوسان فشار خلاء) فناوری هم افزایی باعث کاهش مصرف انرژی می شود و باعث صرفه جویی در مصرف انرژی 15 ٪ {1}} در مقایسه با ماژول سنتی PSA.Optional Repoy Heat برای کاهش بار گرمای کارگاه می شود.
سازگاری اتاق تمیز
تمام کانال جریان فولاد ضد زنگ + پوشش نانو برای جلوگیری از آلودگی یون فلزی. طرح آب بندی نشت صفر ، تصویب ISO {1}} کلاس 0 صدور گواهینامه.
انواع گیاه اکسیژن PSA

تجهیزات مدولار

تجهیزات برج دوقلوی

تجهیزات کانتینر شده
| انتخاب ژنراتور اکسیژن PSA سری NTK95 | ||||||
| شماره | مدل | ظرفیت (NM3/HR) |
خلوص | مصرف انرژی 1NM3 اکسیژن تولید می شود (kw/h) |
تعداد بطری ها در 12 ساعت (رایانه های شخصی) |
اپراتور مورد نیاز است |
| 1 | ntk 95-5 p | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | ntk 95-10 p | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | ntk 95-15 p | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | ntk 95-20 p | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | ntk 95-25 p | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | ntk 95-30 p | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | ntk 95-40 p | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | ntk 95-50 p | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | ntk 95-60 p | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | ntk 95-80 p | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | ntk 95-100 p | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
پرسش
1. خلوص اکسیژن چقدر می تواند باشد و آیا این شرایط تولید نیمه هادی را برآورده می کند؟
مولد اکسیژن PSA ما برای نیمه هادی ها می تواند به طور معمول با خلوص 3 ± 95 ٪ اکسیژن تولید کند. برای برخی از فرآیندهایی که به خلوص اکسیژن بسیار بالا نیاز دارند ، با تنظیم پارامترهای تجهیزات ، خلوص خروجی اکسیژن را می توان در محدوده 95 {3} 9 ٪ کنترل کرد ، به طور کامل برآورده شدن نیازهای سختگیرانه برای خلوص گاز در پیوندهای اصلی مانند لیتوگرافی نیمه هادی ، تمیز کردن و اکسیداسیون.
2. تجهیزات چقدر پایدار است و آیا می تواند عملکرد مداوم خط تولید نیمه هادی را تضمین کند؟
این تجهیزات یک برج جذب مضاعف را به کار می گیرند ، همراه با یک سیستم کنترل هوشمند PLC ، برای دستیابی به منبع اکسیژن بدون وقفه و پایدار {0}. این حالت عملکرد خودکار از وقفه های تأمین گاز ناشی از تعویض بطری دستی جلوگیری می کند ، تأمین گاز قابل اعتماد و پایدار را برای فرآیندی مانند رسوب فیلم نازک و اچ که به فشار هوا حساس هستند ، فراهم می کند و به طور موثری خطر ابتلا به تولید ناشی از مشکلات تأمین گاز را کاهش می دهد.
3. در مقایسه با روش های سنتی عرضه اکسیژن ، هزینه استفاده چقدر است؟
در مقایسه با مخازن ذخیره سازی اکسیژن مایع یا سیلندرهای گاز با فشار بالا ، ژنراتور اکسیژن PSA ما حالت تولید اکسیژن در محل را اتخاذ می کند ، که باعث صرفه جویی در هزینه های حمل و نقل و ذخیره سازی اکسیژن می شود. این تجهیزات یک منطقه کوچک را اشغال می کند و می توان آن را به صورت مدولاری گسترش داد و هزینه های اجاره سایت را کاهش می دهد. در دراز مدت ، هزینه حدود 20 ٪ پایین تر از روش سنتی عرضه اکسیژن است که به طور قابل توجهی هزینه های عملیاتی را ذخیره می کند.
4. آیا نگهداری تجهیزات پیچیده است؟ چرخه نگهداری چقدر طول می کشد؟
تجهیزات با استفاده از فولاد ضد زنگ درجه مواد غذایی و غربال های مولکولی خود تمیز ، آسان است که باعث کاهش بار کار تعمیر و نگهداری می شود. در شرایط عادی ، چرخه نگهداری تا زمانی که 3-5 سال است ، و ما به یک تیم حرفه ای پس از فروش مجهز شده ایم تا در هر زمان پشتیبانی فنی را ارائه دهیم تا به شما در حل مشکلات در حین کار تجهیزات کمک کند.
اکنون برای تأمین امنیت زنجیره تأمین اکسیژن خود عمل کنید
✅ راه حل های سفارشی:
ظرفیت تختخواب و تقاضای اوج خود را برای یک پیشنهاد مناسب برای ما بگویید.
✅ تحویل سریع:
ماژول های از قبل مهندسی شده در هفته {1}} ارسال شده است.
گزینه های تأمین مالی:
برنامه های اجاره بها در دسترس است.
شماره تلفن
+86 15888864725
شماره WhatsApp
+86 15888864725
نامه الکترونیکی
sales@newtek-group.com

تگ های محبوب: ژنراتور اکسیژن PSA برای نیمه هادی ، تولید کننده اکسیژن PSA چین برای نیمه هادی ، تأمین کنندگان ، کارخانه, PSA suurstofplant
ارسال درخواست
در تماس باشید
پیام خود را بنویسید














